SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus 高分辨热场发射扫描电镜
简介：
SE系列集高性能与通用性于一身
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。此外，SE系列包括4种型号(两种类型，两个等级)，满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。
技术特点
| 项目 | SU3900SE/SE Plus | SU3800SE/SE Plus | |
|---|---|---|---|
| 电子光学系统 | 二次电子分辨率 | 0.9 nm@30 kV | |
| 2.5 nm@1 kV | |||
| 1.6 nm@1 kV(*1) | |||
| 放大倍率 | 5～600,000× | ||
| 电子枪 | ZrO热场发射(肖特基热场发射) | ||
| 加速电压 | 0.5 kV～30 kV | ||
| 着陆电压(*1) | 0.1 kV～2 kV | ||
| 束流 | 最大150 nA | ||
| 真空系统 | 低真空模式 | 6～150 Pa | |
| 探测器 | 标配探测器 | 二次电子探测器(SED) | |
| 顶探测器(TD) (*2) | |||
| 5分割背散射电子探测器(BSED) | |||
| 选配探测器 | 高灵敏度低真空探测器(UVD) | ||
| 马达台 | 马达台驱动方式 | 5轴优中心马达台 | |
| 移动范围 | |||
| X | 0～150 mm | 0～100 mm | |
| Y | 0～150 mm | 0～50 mm | |
| Z | 3～85 mm | 3～65 mm | |
| T | -20～90° | ||
| R | 360° | ||
| 样品仓 | 样品尺寸 | 最大直径300 mm | 最大直径200 mm |
