简介

AFM100 Plus /AFM100系统是以在研发、生产、教育等各种场合普及AFM应用为目的， 并追求操作性、可靠性及高效率观察的通用型高分辨扫描探针显微镜系统。

技术参数

1.控制系统：

1.1：操作软件: 

1.1.1 操作导航, 

1.1.2 RealTune II自动判定测量参数，可通过专业软件自动分析样品表面信息，并由此自动设定AFM测量参数，即使是初学者也能获得高质量的图像。

1.2：分析软件: 

1.2.1 三维图像显示;

1.2.2 线粗糙度分析;

1.2.3 表面粗糙度分析;

1.2.4 剖面分析;

1.2.5 Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter图形处理功能.

1.2.6 离线分析软件:

1.3：标准功能模块: 

1.3.1 AFM：接触式原子力显微镜;

1.3.2 DFM：轻敲式原子力显微镜;

1.3.3 PM：相位图;

1.3.4 FFM：摩擦力显微镜;

1.3.5 Force Curve：力曲线.

1.3.6 SIS-TOPO：样品智能扫描模式（形貌），探针仅在采集点与样品垂直接触，彻底消除对AFM测量有不良影响的切向力。并可在扫描过程中根据粗糙度不同自动控制扫描速度。

1.4：数据采集; 4通道（最大2048 × 2048）;2通道（最大4096 × 4096）.

1.5: 扫描器控制电压:  XY（±200V/18bit） Z（±200V/26bit）

1.6: 扫描线预览功能，最大四通道预览.

1.7: 扫描旋转 ±180o （0.1o step）

1.8: Recipe功能：扫描范围内最多选取100个点进行自动测量，并同时进行图像处理，图像分析，图像保存功能；

1.19最高像素采集：16384点.

1.10 Self-Check系统自检功能：扫描器性能自检，通讯自检，电源自检，信号发生自检

2.主机

2.1：样品最大尺寸为：35mm×10mm (H),；

2.2：手动螺杆移动样品台，XY最大范围±2.5mm)，Z轴步进马达（步进50nm），范围10mm；      

2.3：SLD低相干激光器，波长830nm，功率600µW及配套适配器，低噪音低相干性；

3.扫描器

3.1：20微米(XY:20um Z:1.5um)扫描器，原子力显微镜最核心部件，提供长达5年的保修。

4. 探针支架

4.1：多功能探针支架：可使用通用型探针进行相应的功能测量

5.辅助功能单元

5.1 桌面式防震台，外观尺寸435*535*64.4，重量16.5公斤，最大承重80公斤

5.2 光学显微镜：视野范围1.6mm×1.2mm。

7. 探针： 

7.1.适用于轻敲模式DFM测量三维形貌，相位模式PHASE探针，30根